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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "光譜儀".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="超高頻電漿化學氣相沉積"


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    以超高頻矽甲烷電漿化學氣相沉積系統製備微晶矽膜之研究
    • 化學工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 陳宗麟 指導教授: 洪儒生
    • 本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜,同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化,並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…
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    • 全文公開日期 2013/08/04 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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